文章目录

1 引言

2 实验

3 结果与讨论

3.1 硅棒体铜和硅片表面铜含量对比

3.2 循环使用的切割液中及硅片表面的金属杂质含量

    3.2.1 循环使用切割液中重金属杂质的含量

    3.2.2 硅切片表面的重金属杂质含量

3.3 清洗前后硅切片重金属杂质的含量

3.4 铜杂质对硅的少子寿命检测

    3.4.1 25℃下0.5%Cu Cl2溶液对正常清洗后硅片少子寿命的检测

    3.4.2 25℃下1.0%Cu Cl2溶液对钝化后硅棒少子寿命的检测

    3.4.3 70℃下1.0%Cu Cl2溶液对硅片少子寿命的检测

    3.4.4 150℃下紫铜片对钝化硅片少子寿命的检测

    3.4.5 300℃下纯铜对钝化硅片少子寿命的检测

4 结论

文章摘要:重金属杂质污染会对太阳能硅片性能及寿命产生显著的影响。因此,开展了太阳能硅片加工中的重金属杂质沾污产生过程研究。通过硅片切割清洗前后重金属杂质含量及硅片少子寿命的测试和分析,得出结论是:硅片的切割环节,尤其金刚线的使用是引入重金属杂质的主要原因,且树脂金刚线比电镀金刚线更易引入重金属杂质;相比铁和镍等重金属杂质,铜杂质较难清除;金属铜杂质及恶劣的环境（高温）对硅片少子寿命影响较大;经切割及沾污产生的金属铜杂质仅存在于硅片表面,可通过清洗消除,同时清洗及钝化处理可恢复硅片少子寿命。

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论文分类号:TM914.41